リソグラフィマシンにおける光学部品の応用

リソグラフィマシンでは、光学システムは、回路パターンの露光を達成するために、光源から放出された光ビームの焦点を合わせてシリコンウェーハに投影する役割を果たします。 したがって、リソグラフィシステムにおける光学部品の設計および最適化は、リソグラフィマシンの性能を向上させるために重要である。

投影レンズ

リソグラフィマシンの投影レンズは、通常、凸レンズ、凹レンズ、プリズムなどの一連のレンズで構成されています。 その機能は、光源から放出された光ビームを集中させて投影することです。 リソグラフィマシンでは、投影レンズはマスク上の回路パターンを特定のスケールに縮小し、フォトレジストでコーティングされたウェーハに焦点を合わせます。

光学アライメントシステム

のような光学アライメントシステム光学アライメントキューブリソグラフィマシンでは、主にフォトマスクとシリコンウェーハ間の位置合わせ精度を確保するために使用されます。 リソグラフィプロセス中に、機器や材料のエラーがフォトマスクとシリコンウェーハの間に位置ずれを引き起こし、パターン形状の歪みや不正確さを引き起こす可能性があります。 したがって、アライメントシステムは、リファレンスミラー、標準レンズ、光学エンコーダなどの正確な光学コンポーネントを使用して測定および調整し、リソグラフィプロセス中に高精度のアライメントとイメージングを保証します。

光学レンズ

光学ミラー: ミラーは、リソグラフィマシンで光路の方向を変更し、光を正しい位置に導くために使用されます。 表面の精度と安定性の光学ミラーリソグラフィマシンの性能に大きな影響を与えます。

ビームスプリッター: 大手からのビームスプリッタービームスプリッタ工場は、単一の光ビームを複数のビームに分割する光学コンポーネントです。 それらは、複数の平行ビームを生成するためにリソグラフィマシンで使用され、複数のチップの同時露光を可能にします。

グレーティング: グレーティングは、光を複数のサブビームに分割し、それらの位相と振幅を制御する光学コンポーネントです。 それらは、複雑なパターンや構造を作成するためにリソグラフィマシンで使用されます。

フィルター: によって製造されたフィルター光学フィルター会社光の不要な波長をフィルタリングし、リソグラフィの精度と品質を向上させるために使用されます。