1.コンピューターとモニターの電源を入れます
入力: ユーザー名: zygo
パスワード: なし
オペレーティングシステムへのログイン
2.干渉計ホストの電源を入れ、干渉計を15〜20分間ウォームアップして、安定して動作させます。
3.コンピューターのデスクトップ上のMetroProアイコンをダブルクリックして、MetroPro測定ソフトウェアを入力します。
電源スイッチをオンにすると、インジケータライトが点灯します。
1.マウスの左ボタンで、対応する測定アプリケーションアイコンをクリックして、テストアプリケーションを開きます。
例: open GPI.app
2.テスト光路 (標準ミラーとサンプルを含む) を構築し、干渉フリンジを調整し、背面の特定の測定方法を参照します。
テスト光路 (標準ミラーとサンプルを含む) を設定し、干渉フリンジを調整します。 MetroProソフトウェアで必要な測定パラメータを設定します。MetroProソフトウェアマニュアルを参照してください。
3.ソフトウェアのMeasureボタンをクリックするか、キーボードのF1キーを押して測定を完了し、結果を表示します。
4.テストレポートを保存します。 ウィンドウ画像を印刷または保存するには、マウスの左ボタンで「zygo」シンボルをクリックします。
5.ソフトウェアの [データを保存] ボタンをクリックして、テストデータを保存します。
1.MetroProソフトウェアを閉じる
MetroProの右上隅にあるXボタンをクリックすると、ダイアログボックスがポップアップ表示されます。[はい] をクリックしてMetroProソフトウェアを閉じます。
2.干渉计の主要な単位をシャットダウンして下さい
本体の電源スイッチをオフにすると、インジケータライトが消えます。
3.コンピューターとモニターの電源を切ります。
伝送要素をインストールする
警告!
次のステップでは、透過要素に手を触れないでください。 指紋は永久に光学を傷つけることができます
コーティングと光学系の表面。
1.要素の金属の端をつかんで、保護ケースから透過要素を取り外します。
2.透過素子の端にある2つの金属タブを、メインユニットの調整ブラケットにある2つの対応するスロットに合わせます。
警告!
システムが垂直構成でインストールされている場合は、以下の手順に従って、透過素子が所定の位置にロックされるまで手放さないでください。
3.透過性要素をメインフレーム調整ブラケットにそっとスナップし、グループ要素の金属エッジを手で所定の位置に保持します。 黒いロックノブを回す
黒いロックノブを時計回りに回すと、ユニットが調整ブラケットに固定されます。
注: 調整ブラケットからユニットを取り外すときは、ロックノブを反時計回りに回しながら、ユニットの金属の端から手でユニットを保持します。
調整ブラケットからモジュールを取り外すときは、モジュールの金属フレームから手でモジュールを持ち、固定ネジを反時計回りに緩めます。
干渉計で測定を行う前に、透過素子を干渉計に合わせてから、測定サンプルを透過素子に合わせる必要があります。
次に、測定サンプルを透過素子に合わせます。 透過素子の位置合わせ方法については以下の通りである。 測定サンプルのキャリブレーションについては、「表面品質の測定」で詳しく説明しています。
表面品質の測定」および「送信された波面の質の測定」。
1.ライトバースイッチがオンの位置にあることを確認します。 (ライトバースイッチがONの位置にあることを確認してください。)
2.リモコンのALIGN/VIEWボタンを押します。 校正されたターゲット十字線と1つ以上の明るい点がモニターに表示されます。
モニターに。 最も明るい点は、透過素子の最も外側の表面からの光の反射を表す。
測定されるサンプルは、透過素子で校正されます。 サンプルが校正された後、測定は単にMetroProソフトウェアのMeasureキーを押すだけの問題です。 干渉計を垂直に配置するか水平に配置するかにかかわらず、測定キャビティ (またはサンプルから標準のミラーまでの距離) をできるだけ大きくする必要があることが一般的に認められています。
サンプルから標準ミラーまでの距離) をできるだけ短くします。 これは、空気流による測定された波面の歪みを最小にする。
トランスミッションフラット (TF) リファレンスミラーの取り付け: レンズの2つの金属ピンを干渉計の調整フレームのスライドに配置します。
1.2つの金属pをスライドさせるレンズのインを干渉計の調整ブラケットのスロットに入れ、レンズの金属フレームを保持し、レンズを時計回りに回転させてから、側面のロックノブを締めます。
次に、側面のロックノブを締めます。
2.標準レンズを揃える: リモコンのALIGN/VIEWボタンを押して表示画面をALIGN状態に切り替えると、クロスヘアフィラメントの画像が平面に表示されます。 画面上の最も明るい光点がクロスフィラメントの中心になるまで、干渉計メインユニットの調整ブラケットの2つのノブを調整します。 3.
3.測定するサンプルを測定調整フレームに配置します。画面上の測定部分の輝点がクロスヘアラインの中心にもなるまで、調整フレームの傾斜ノブを調整します。レンズの反射光点と一致する。
4.リモコンのALIGN/VIEWボタンをもう一度押して、表示画面を「表示」に切り替えると、干渉フリンジが画面に表示されます。 ズームボタンを押してズームインおよびズームアウトし、測定したい表面の画像が可能な限り画面全体に表示されるようにします。 5.
5.紙または他のマーカーを測定する部分のできるだけ近くに配置します。これにより、焦点を合わせるための明確なエッジが提供されます。 リモコンの [FOCUS] ボタンを押してフォーカスを合わせ、画像を端から端に合わせ、焦点を合わせて端から端に合わせます。
6.サンプル調整ラックのチルト調整ノブを微調整してフリンジをゼロにします (干渉フリンジが最小限に抑えられるように)。
7.MetroProのMEASUREキーまたはキーボードのF1キーを押して測定を行います。
1.測定中にメインユニットまたは防振プラットフォームに触れないでください。
2.感電のリスクを最小限に抑えるために、機器は電源出力を介して電気的にしっかりと接地する必要があります。
3、レーザーの安全指示について読むために干渉計のマニュアルで。
4.メインユニットを動かさないでください。 移動する必要がある場合は、楽器の上部に設計された2つの特別なハンドルを使用してください
移動する必要がある場合は、楽器の上部に設計された2つの特別なハンドルを使用して、慎重に移動してください。そして力によってそれを動かすためにあなたの手で直接圧電セラミックスに触れないで下さい。
圧電セラミックは高精度の構造で、力で損傷しやすいため、いつでも外力を避けてください。 図に示すように:
ホストのメンテナンス
メインユニットは実質的にメンテナンスフリーですが、比較的クリーンな環境で機器を操作することが非常に重要です。
しかし、比較的きれいな環境で機器を操作することは非常に重要です。 メインユニットのハウジングを掃除する必要がある場合は、以下の手順に従ってください。
1.適度なpHの家具クリーナーを使用して、少量のクリーナーで湿らせた柔らかい布で、本体の側面とフロントパネルから指紋とほこりを拭き取ります。
指紋やほこりなどのパネル。
2.乾いた布を使用して、コンポーネントのほこりをきれいにします。 光学系の近くでクリーナーやスプレーを使用しないでください。
レンズはコーティングされた光学部品であり、クリーニングスプレーは表面を損傷する可能性があります。 レンズシステムのクリーニングに関するセクションについては、
次の章の「光学系のクリーニング」セクション。
コンピュータ、カラーモニタ、マウス、キーボード、プリンタ (インストールされている場合) などのコンポーネントのメンテナンスについては、製造元のドキュメントを参照してください。
サービスされるコンポーネントには、コンピューター、カラーモニター、マウス、キーボード、およびプリンター (インストールされている場合) が含まれます。
問題が発生していて問題を見つけることができない場合は、Zygoに連絡してください。
測定後、干渉計を長期間使用しない場合は、レンズやその他の光学部品を慎重に取り外し、特殊なレンズケースに保管してください。
特別なレンズケースに保管してください。
精密光学系の洗浄は表面を損傷する可能性があります。 すべての洗浄可能なレンズ表面はコーティングされる。
すべての洗浄可能なレンズ表面はコーティングされる。 不必要で誤ったクリーニングは、コーティングを簡単に損傷する可能性があります。 光学系を適切に保持し、使用していないときは邪魔にならないようにする必要があります。
コンポーネントは正しく、使用していないときはプラスチックケースに戻し、クリーンな環境を維持してクリーニングサイクル数を最小限に抑えます。
クリーニングの数は最小限に抑える必要があります。
メイン内の光学系をきれいにしようとしないでくださいこれとして単位はシステム性能に影響を与えます。 必要に応じてZygoに連絡してください。
必要に応じてZygoに連絡してください。
ポリエチレンラボ手袋
手袋を着用して、デバイス表面の汚染を防ぎ、有害で刺激的な化学物質との接触から肌を保護します。
物質。
ノズル付き圧缩ガス
ノズル付き圧縮ガスは、光学系の表面からほこりや汚れを吹き飛ばすために使用されます。
ミラーペーパー
必要に応じて光学系の表面をきれいにするために使用されます。 ミラーペーパーは精密光学を拭くために特化するべきです。
綿棒
届きにくい表面をきれいにするために使用される綿棒は、木と紙、綿と他の材料で作られるべきです。 プラスチック棒はアセトンに溶解する
プラスチック棒はアセトンに溶けます。
溶剤
スペクトルグレードのイソプロピルアルコールとメタノールを使用して、光学表面に付着する汚染物質を洗浄します。 中性1% 石鹸溶液または光学クリーナーを使用してください。
オイルベースの汚染物質をきれいにする集中石鹸溶液または光学クリーナー。
警告!
イソプロピルエタノールとメタノールを使用する場合は注意が必要です。可燃性で有毒です。 クリーニングワイプを再利用しないでください。再利用すると、汚れが付着して光学系が損傷する可能性があります。
光学系を掃除する前に、指や手首から指輪などのジュエリーを取り除き、手を注意深く洗ってスキンオイルを取り除き、手袋を着用してください。
ほこりまたは細かい汚染
1.ノズルで、ほこりや汚染の任意の緩い、小さなビットを吹き飛ばします。
2.まだほこりが残っている場合は、木製の綿棒の周りに2枚のミラーペーパーを包むか、ミラーペーパーのシートを折りたたんで、掃除する部分よりも幅が広くなるようにします。
3.1滴のエタノールまたはメタノールを紙の上に置く。
4.レンズを一方向に一度拭きます。 さらに拭き取りが必要な場合は、新しい木製の綿棒とミラーペーパーを使用してください。 指紋、油と水のマーク注: この状態はすぐに表面からきれいにする必要があります。 皮膚の酸はレンズ表面を損傷する可能性があります。
5.スプレーノズルで小さなゆるいほこりや汚れを吹き飛ばします。
6.まだ汚れが残っている場合は、2枚のミラーペーパーを木の棒の周りに包むか、ミラーペーパーのシートを折りたたんで、掃除する部分よりも幅が広くなるようにします。
7.紙に1% の石鹸溶液を一滴塗ります。
8.レンズを1方向に一度拭きます。 さらに拭き取りが必要な場合は、新しい綿棒と紙を使用してください。
9.蒸留水で湿らせた紙を用いてステップ2〜4を繰り返す。 石鹸の残留物を拭き取るために。
10.紙をメタノールまたはエタノールで湿らせ、ステップ2〜4を繰り返す。
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